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產品訊息
2021.07.27
美國 KAYDON 薄壁軸承 半導體應用
半導體製造
Kaydon 擁有為矽芯片製程中精密軸承應用的解決方案。 從機器人到機械拋光機再到光刻設備,Kaydon Reali-Slim® 薄壁軸承為更小、更輕、更簡易的旋轉設備提供了節省空間的設計。
 
Kaydon Reali-Slim® 軸承可以進行客制化設計,在減少摩擦、抗污染、防腐蝕的條件下保持最高的運行精度和效能。 特殊的材料和潤滑劑可允許高於 250°C 的工作溫度、以及10-8 至 10-12 Torr 的真空度、或具有腐蝕性的化學環境。 Hybrid (陶瓷滾動體) 的軸承設計可以優化扭矩特性並延長使用壽命。
 

 



應用
檢測設備
晶圓探針
晶圓傳輸系統
點膠
拾放機器人
測量系統
測試頭
定位器
切丁設備
研磨設備
真空沉積系統
晶圓步進機
探針台
晶圓修整器
晶圓洗滌器
晶圓拋光機
薄膜沉積系統
化學氣相沉積系統
蝕刻系統
機械拋光機
大氣和真空傳輸
機器人
測試頭
機械手
超聲波清洗系統
旋轉乾燥機
光刻
機械拋光機
貼片機
 
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